プロトタイプの小型MOイメージングボックスで、マグネトロンスパッタのターゲット周囲の磁場を観察してみました。
小型MOイメージングボックスは可視化された磁場をパソコンに取り込みます。
MOイメージングパネルとは異なり、磁場を近づけたときだけ可視化されるので、ターゲットからの距離によって磁場がどのように変化するかを観察することができます。
小型MOイメージングボックスは、 コンパクトで 片手で持てますので、 移動させながらの磁場観察が可能です。生産設備などの磁場を検査するのにたいへん便利です。
ご興味お持ちの方は、(株)オフダイアゴナルまでメールしてください。お待ちしております。
小型MOイメージングボックスの開発とPRについては、長岡市H31年度ブランド化支援補助金による支援を受けています。
協力：新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室
