MOイメージングプレート製品は、製造設備の点検などへの応用も考えられます。
以下は、MOイメージングパネルを使ってマグネトロンスパッタ装置のターゲット周りの磁場を観察した様子です。
ターゲットのシャッターを外します。
ターゲットの裏には強力な磁石がセットされています。
MOイメージングパネルをターゲットに近づけると磁場が可視化されます。
MOイメージングパネルは可視化された磁場パターンが残留するので、ターゲットから離しても可視化された磁場パターンを見ることができます。
ご興味お持ちの方は、(株)オフダイアゴナルまでメールしてください。お待ちしております。
協力：新潟県工業技術総合研究所 レーザー・ナノテク研究室
